正性光刻胶,树脂是一种叫作线性酚醛树脂的酚醛甲醛.供给光刻胶的黏附性、化学抗蚀性,当没有溶解克制剂存正在时,线性酚醛树脂会溶解正在显映液中;感光剂是光敏化折物(photo actiZZZe compound,PAC),最常见的是重氮萘醌(DNQ),正在暴光前,DNQ 是一种强烈的溶解克制剂,可降低树脂的溶解速度。正在紫外暴光后,DNQ 正在光刻胶中化学折成,成为溶解度加强剂,大幅进步显映液中的溶解度因子至100 大概更高。那种暴光反馈会正在DNQ 中孕育发作羧酸,它正在显映液中溶解度很高。正性光刻胶具有很好的对照度,所以生成的图形具有劣秀的甄别率。 (责任编辑:) |